配气仪采用质量流量混合原理，根据用户设定的参数计算出各路对应的控制量去控制调节质量流量控制器，质量流量控制器调节自身气路输出阀门开启幅度，并且实时检测通入自身内的真实气体流量，根据该气体流量实时输出一个与该气体流量成线性正比的反馈信号。配气仪根据各路反馈信号获得实际的气体输出流量而计算实际输出的气体浓度。各通道质量流量计输出的气体一同汇入气体混合器进行充分混合后，通过出气口输出。